清洗介質： 采用超聲波清洗，一般有兩種清洗劑：化學清洗劑和水基清洗劑。清洗介質是化學作用，而超聲波清洗是物理作用，兩種作用相結合，以對物體進行充分、徹底的清洗。
功率密度：超聲波的功率密度越高，空化效果越強，速度越快，清洗效果越好。單對于精密的、表面光潔度甚高的物體，采用長時間的高功率密度清洗會對物體表面產生“空化”腐蝕。
超聲波頻率：超聲波頻率越低，在液體中產生空化越容易，作用也越強。頻率高則超聲波方向性強，適合于精細的物體清洗。
在使用水做為主體的超聲溶液時，由于空化作用引起的物理清洗力對低頻有利，一般用20kHz～45kHz的超聲波。
溫度： 一般來說，超聲波在30℃~40℃時空化效果好。清洗劑則溫度越高，作用越顯著。通常實際應用超聲波清洗時，采用30℃~60℃的工作溫度。 被清洗物品的位置 ：物品表面接近并面向發生器時，清洗質量好。
被清洗工件聲學特性 ：吸聲大的物體如橡膠、布料等用超聲波清洗效果差，而對聲波反射強的材料如金屬、玻璃制品清洗效果較好。
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